消息称ASML着手研发混合键合机台

2026 年 3 月 16 日 17:50 作者：zhangsan 分类：快讯

行业人士透露ASML正着手开发混合键合设备，其合作伙伴包括EUV光刻机磁悬浮系统组件供应商Prodrive和VDL-ETG。（科创板日报）